據(jù)珠海科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)官微消息，10月14日，珠海智樺半導(dǎo)體總部基地投產(chǎn)儀式在珠海科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)大灣區(qū)智造產(chǎn)業(yè)園舉行。據(jù)悉，作為智樺半導(dǎo)體戰(zhàn)略布局的核心樞紐，珠海基地計劃總投資2億元，建成后年產(chǎn)1000臺套半導(dǎo)體臭氧設(shè)備，預(yù)計達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)值可達(dá)10億元，新增就業(yè)崗位300個。

資料顯示，智樺半導(dǎo)體深耕半導(dǎo)體臭氧發(fā)生領(lǐng)域十余年，已成長為國內(nèi)少數(shù)具備自主研發(fā)能力、掌握全套核心部件、軟件及專利技術(shù)的專業(yè)供應(yīng)商。核心產(chǎn)品涵蓋高濃度臭氧氣體系統(tǒng)、高純臭氧水系統(tǒng)等系列設(shè)備，可精準(zhǔn)滿足半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛潔凈度要求，能有效去除晶圓表面納米級雜質(zhì)。

其產(chǎn)品已成功應(yīng)用于臺灣地區(qū)及東南亞多家尖端晶圓制造企業(yè)，核心技術(shù)指標(biāo)全面對標(biāo)業(yè)內(nèi)進(jìn)口主流品牌：臭氧氣體濃度最高可達(dá)420g/m³，臭氧水濃度穩(wěn)定維持在140ppm以上，成功填補(bǔ)國內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備關(guān)鍵部件領(lǐng)域的技術(shù)空白。

除標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品外，智樺半導(dǎo)體還創(chuàng)新研發(fā)了二氧化碳功能水系統(tǒng)等特色解決方案——通過將二氧化碳溶解于超純水中形成酸性功能水，為晶圓清洗提供更環(huán)保、更高效的新選擇。